| 加工定制：是 | 品牌：佛欣真空 | 电镀位置：轮镀 |
| 镀种：真空镀膜 | 镀膜材质：氮化钛膜 | 镀膜原理：离子镀 |
| 型号：FOXIN-PVD-1515 | 适用范围：铣刀,钻头,合金轮毂,小五金配件等 | 产品别名：PVD镀膜设备/多弧离子镀膜设备 |
| 电镀电源：直流电源 | 规格：根据客户定制 |
- 功能特性:
| 用于行业 | 钟表行业、3C行业、五金行业、精密模具业、工具行业等 | |||||
| 用于产品 | 表壳表带、钻头、硬质合金、铣刀、冲棒标准件模具、成型模具等 | |||||
| 涂层类型 | 氮化钛（TiN）、氮碳化钛（TiCN）、氮化铬（CrN）、氮化铝钛（TiAIN）、碳化钛（TiC） | |||||
- 详细介绍:
| FOXIN-PVD 多弧离子溅射镀膜机型号（直径1.2mm以内） | ||||||
| 性能型号 | PVD-0708 | PVD-0809 | PVD-0910 | PVD-1012 | PVD-1212 | PVD-1215 |
| 真空室尺寸:mm | Ф700×H800 | Ф800×H900 | Ф900×H1000 | Ф1000×H1200 | Ф1200×H1200 | Ф1200×H1500 |
| 真空室结构 | 立式前开门结构配置抽气系统及水冷系统 | |||||
| 真空获得系统 | 维持泵+机械泵+罗茨泵+扩散泵或分子泵（具体型号可根据客户的要求进行配置） | |||||
| 真空测量系统 | 一台皮拉尼(MKS) 一台冷阴极(MKS) 一台薄膜规(MKS) | |||||
| 电源类型 | 直流电源、中频电源、脉冲电源 （偏压电源、弧电源） | |||||
| 极限真空指标 | 空载冷态 1.0一 6.0×10-4Pa | |||||
| 电弧源 | 6台-8台 | 6台-8台 | 8台-12台 | 8台-12台 | 10台-14台 | 10台-14台 |
| 200A-300A | 200A-300A | 200A-300A | 200A-300A | 200A-300A | 200A-300A | |
| 偏压电源 | 20KW/1台 | 20KW/1台 | 20KW/1台 | 30KW/1台 | 30KW/1台 | 30KW/1台 |
| 磁控电源 | 1台-2台 | 1台-2台 | 2台-3台 | 2台-3台 | 2台-3台 | 2台-3台 |
| 工件转动方式 | 多轴行星式公自转、变频调速（可控可调） | |||||
| 工件烘烤温度 | 常温-300℃至450℃-600℃可控可调（PID温控） | |||||
| 工艺气体 | 3路或4路工艺气体流量控制及显示系统选配自动加气系统 | |||||
| 氩气、氮气、氧气、乙炔等 | ||||||
| 冷却方式 | 水冷却循环方式，另配工业冷却水塔或工业冷水机（制冷机)或深冷系统。（客户提供） | |||||
| 控制方式 | PLC+触摸屏操作或计算机控制，手动、半自动、自动方式、 | |||||
| 供给指标 | 气压0.5-0.8MPa、水温≤25℃、水压≥0.2MPa、 | |||||
| 报警及保护 | 对泵和靶等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警，并执行相应保护措施及电气联锁功能。 | |||||
| 整机总功率 | 25~65KW | 45~85KW | 65~105KW | 85~115KW | 95~125KW | 100~130KW |
| 输出频率 | 电压380V±5% ，频率50Hz（可根据客户国家用电标准配置） | |||||
| 设备占地面积 | 15~50m? | 15~50m? | 25~55m? | 25~55m? | 35~55m? | 35~55m? |
| 备注 | 可根据用户要求设计制造非标设备，可加装磁控溅射靶、中频孪生对靶等。 | |||||
